- 量測粒徑範圍：0.5 - 1000 um
- 解晰度：8-512（使用者可根據需要自行設定）
- 進樣量：1ul-1000ul
- 量測時間：10-180s
- 專利技術：單粒子光學傳感技術（SPOS技術）
- 粒徑誤差率：＜5%，重現性佳
- 機台尺寸：(Counter) 長48cm×寬30cm×高58cm
- 機台重量：40公斤
主要應用：
- CMP slurry(化學機械研磨液)
- USP 788
- 化學溶液
- 藥水
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