主要規格:

• 粒徑量測範圍：0.15 - 20um
• 測量時間：10sec ~ 3min
• 資料通道：8 ~ 32 個通道
• 流速控制：15 mL/min
• 粒徑誤差率：< 15 %

主要應用：

• CMP slurry(化學機械研磨液)
• 化學溶液

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