Veritas Series 桌上型掃描式電子顯微鏡（SEM）－適用於大樣品觀察

產品特點摘要：

1. 支援大尺寸樣品：
   儀器可容納最大直徑 178 mm、高度 80 mm 的樣品，特別適用於觀察大型樣品，滿足材料、電子元件、結構樣本等多種分析需求。
    

2. 高解析度影像品質：
   提供 5.0 nm（二次電子影像）與 6.0 nm（背向散射電子影像）的高解析度，能呈現表面結構的細緻細節。
    

3. 五軸樣品載臺設計：
   採用 X/Y/Z/R/T 五軸電動或手動樣品臺，具備 X/Y 軸各 42 mm 行程、Z 軸高度調整 5–53 mm、旋轉 360 度、傾斜角度達 ±90 度，可多角度靈活觀察樣品。
    

4. 全自動影像控制功能：
   系統支援自動對焦、自動亮度/對比、自動電子槍校準與飽和度控制，操作簡便，有助於提升影像穩定性與再現性。
    

5. 高效率真空系統：
   抽真空僅需 90 秒，破真空時間僅 10 秒。樣品室可同時容納三個樣品，大幅提升分析效率與樣品處理量。
    

6. 相容多品牌 EDS 元素分析系統：
   可搭配 Thermo、Oxford、Bruker、EDAX 等國際主流品牌的能量散射 X 光分析模組（EDS），支援元素定性與定量分析，擴充應用範疇。
   
    

適用領域：

• 半導體封裝與故障分析
• 材料表面觀察、破壞機制分析
• 奈米材料與粒子形貌觀察
• 生物樣品表面構造（需鍍膜處理）
• PCB 板檢測、微機電元件檢查、金屬加工樣品評估