- 量測粒徑範圍:0.5 - 400 um
- 解晰度:8-512(使用者可根據需要自行設定)
- 進樣量:1ul-1000ul
- 量測時間:10-180s
- 專利技術:單粒子光學傳感技術(SPOS技術)
- 稀釋:專利技術的自動稀釋功能,避免污染物的入侵
- 粒徑誤差率:<5%,重現性佳
- 機台尺寸:(Counter) 長48cm×寬30cm×高58cm
- 機台重量:40公斤
主要應用:
- CMP slurry(化學機械研磨液)
- USP 729 Method II
- 化學溶液
- 藥水
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